料片規格:
尺寸: 180mm x 180mm( 可依客戶指定 )
生胚厚度: 20um ~200um
PET 膜厚度: 38um ~ 75um
對位規格:
尺寸 150mm x 150mm( 可依客戶指定 )
厚度 Max 5 mm or (50 layer)
CCD 影像:
500 萬畫像素 CCD 、 可視範圍 5.6*4.8mm 、 對位精度 5um
剝離方式:
真空吸附先剝離後壓合方式
對位驅動模式:
2X2Y 控制
裁 刀:
鎢鋼材質 、 滑台式氣缸驅動 、 精密調壓閥壓力控制
堆疊規格:
精度 ± 25 um
壓力 1,000kgf ~ 10,000kgf
料盒規格:
數量 3排*8個= 24個(Max)
高度 35mm
裝載量 100~200張
上下料方式:
自動移載上下料
控制系統:
德國 Twin CAT_PLC
Ether CAT 通訊連線 伺服馬達控制
遠端設備狀況監視